株式会社 魁半导体 SAKIGAKE-Semiconductor Co., Ltd.

公司简介

本公司是于2002年从京都工艺纤维大学成立的新兴企业,今年我们迎来了公司的15周年庆。我们在京都的入口,京都站附近设立了总部,公司业务包括装置的设计,到组装销售。

主要业务是等离子设备业务以及以石英玻璃或硅晶片为中心的材料业务。不只是向客户销售设备,还致力于帮助客户解决由于等离子效果产生的问题,相比常规工艺,这是一种低成本,高品质的提案型销售。

等离子体是?

首先,对等离子体进行简单的说明。

所谓的等离子体是指物质的第四种现象,即固体,液体,气体之后的下一种状态。

虽然图1为原子的示意图,但通常原子是指质子和中子周围围绕的电子。围绕原子核周围的电子脱离运转轨道的状态称为电离,这种状态,以及原子,分子的集合体统称为等离子体。

原子·分子因为周围环绕着电子,保持一种稳定的状态。但是,当电子飞出之后就会失去这种稳定。而失去稳定后的原子􀉾分子为了实现稳定化就会抢夺身边其他原子·分子外面的电子,或者是共有,以实现稳定化。

这种共有现象一般称为“化学反应”。

也就是说,等离子体是处于易发生化学反应状态的原子·分子。

等离子体的处理效果

本公司制造的等离子装置和身边那些利用发光现象的设备有点不同。因为利用上述的等离子体所具有的高反应性而在工业领域内被广泛使用。

有很大的“表面改质”和“洗净效果”。1用等离子体照射基板的话,如图2中a所示,电离后的分子(OH基等)可显著提高表面水的濡湿性。
2用等离子体照射塑料或金属,可以提高改善表面状态的涂料的濡湿性。

总而言之,图2中a具有“表面改质”的效果。

此外,图2中b所示,基板上附着的有机物,可以通过等离子体照射与等离子体中的活性分子反应并气化,从而被除去,即“洗净效果”,这也意味着不要洗洁剂就可以除去有机物。

利用这种现象,可以除去附着于基材上的有机物,洗净表面,提高键合性能。


图1  等离子体是?


图2 等离子体的处理效果

粉体处理等离子体的效果

本公司通过等离子体技术,用各种方法实施各项工程。这回想特别介绍的是,对图3的粉体有效果的等离子体技术。

到现在为止的等离子体技术一般指以平面为对象,对于处理的对象物有限制。

本装置的等离子体电极部为筒状,像洗衣机一样,一边使被处理物旋转一边进行等离子体处理,可以将粉体和零件全部表面进行处理。

通过装置搭载的旋转等离子体室搅拌样品,能够一次性实现全面改质处理(洗净,浸水,蚀刻,成膜)。搭载的旋转室是本公司独自开发的,是世界第一个能够实现全面处理的装置。

等离子体室是可移动的,其他部件也可以根据等离子体室或旋转速度进行调整。任何条件下,样品间的接触部位都能够收到均匀的等离子体照射。

主要用途如下所示
1.一次性处理可大幅缩短时间,进一步提高产量,减少加工成本。
2.不使用表面活性剂就能实现粉体的亲水性,实现低成本化,高纯度化以及减少环境负荷。

虽然图4展示了一个例子,但使用图3所示的本公司的粉体等离子体装置YHS-DφS,通过对正常不会混合的水和碳素粉体进行处理,然后混合。

这一装置使用了图3中a和b所示,通过旋转电极进行全方位处理的技术。

另外不仅可以用于生产,研究机构也可以使用。陶瓷电容器或O型环等树脂型产品,电池的电极材料碳素粉体等各种粉体或是微细的样品。可以改善医疗用膏状体粒子的表面。不仅限于电子机器,也可用于医疗,食品等各个领域。在不选择场所的输出或尺寸,也可引入到研究应用中。

另外,“粉体用湿式大气压等离子体装置”使用液面电极,经过表面处理后的粉体具有亲水性,即可和液体混合,也有液中混合同时处理的湿式类型。


图3 a)装置的照片


图3 b)回转式真空等离子体装置的概要


图4 粉体处理等离子体的效果

株式会社 魁半导体 Sakigake-SemiconductorCo., Ltd.

设立 :2002年9月4日
在京都工艺纤维大学成立的新兴公司
资本金 :1000万日元
公司法人代表 :田口 贡士(1973.12.11)
电话 :+81-75-204-9589 传真 :+81-50-3488-5883
邮箱 :s.sales@sakigakes.co.jp